Hitachi KM11 yağ təzyiq sensoru EX200-2-3-5 üçün uyğundur

Təzyiq sensorunun dörd təzyiq texnologiyası

1. Kapasitiv

kapasitiv təzyiq sensorları adətən çox sayda OEM peşəkar tətbiqi tərəfindən üstünlük verilir. İki səth arasında tutum dəyişikliklərinin aşkarlanması bu sensorlara son dərəcə aşağı təzyiq və vakuum səviyyələrini hiss etməyə imkan verir. Tipik sensor konfiqurasiyamızda yığcam korpus bir-birinə yaxın, paralel və elektriklə təcrid olunmuş iki metal səthdən ibarətdir, bunlardan biri mahiyyətcə təzyiq altında bir qədər əyilə bilən diafraqmadır. Bu möhkəm sabitlənmiş səthlər (və ya plitələr) montajın əyilməsi onların arasındakı boşluğu dəyişdirmək üçün quraşdırılmışdır (əslində dəyişən bir kondansatör meydana gətirir). Nəticədə dəyişiklik proporsional yüksək səviyyəli siqnalı gücləndirən və çıxaran (və ya ASIC) olan həssas xətti müqayisəli dövrə ilə aşkar edilir.

2.CVD növü

kimyəvi buxar çökdürmə (və ya "CVD") istehsal üsulu polisilikon təbəqəsini molekulyar səviyyədə paslanmayan polad diafraqma ilə birləşdirir və beləliklə əla uzunmüddətli sürüşmə performansına malik sensor istehsal edir. Ümumi toplu emal yarımkeçirici istehsal üsulları çox münasib qiymətə əla performansa malik polisilikon gərginlik ölçən körpülər yaratmaq üçün istifadə olunur. CVD strukturu əla qiymət performansına malikdir və OEM proqramlarında ən populyar sensordur.

3. Püskürən film növü

Püskürən film çöküntüsü (və ya "film") maksimum birləşmiş xətti, histerezis və təkrarlanma qabiliyyəti olan bir sensor yarada bilər. Dəqiqlik tam miqyasda 0,08% qədər yüksək ola bilər, uzunmüddətli sürüşmə isə hər il tam miqyasda 0,06% qədər aşağıdır. Əsas alətlərin fövqəladə performansı - püskürən nazik film sensorumuz təzyiq ölçmə sənayesində bir xəzinədir.

4.MMS növü

Bu sensorlar təzyiq dəyişikliklərini aşkar etmək üçün mikro emal edilmiş silikon (MMS) diafraqmasından istifadə edir. Silikon diafraqma, yağla doldurulmuş 316SS ilə mühitdən təcrid olunur və onlar proses mayesinin təzyiqi ilə ardıcıl reaksiya verirlər. MMS sensoru yığcam sensor paketində yüksək gərginlik müqavimətinə, yaxşı xəttiliyə, əla termal şok performansına və sabitliyə nail ola bilən ümumi yarımkeçirici istehsal texnologiyasını qəbul edir.