Hitachi km11 neft təzyiqi sensoru üçün uyğundur EX200-2-3-5

Təzyiq sensorunun dörd təzyiq texnologiyası

1. Kapakiv

Kapasitiv təzyiq sensorları ümumiyyətlə çox sayda OEM peşəkar tətbiqetmələr tərəfindən bəyənilir. İki səth arasında kapasitans dəyişikliklərinin aşkarlanması bu sensorlara son dərəcə aşağı təzyiq və vakuum səviyyəsini hiss etməyə imkan verir. Tipik sensor konfiqurasiyamızda kompakt bir mənzil iki yaxından aralı, paralel və elektrikli bir metal səthdən ibarətdir, bunlardan biri də bir az təzyiq altında əyilə biləcək bir diafraqma olan bir diafraqma ibarətdir. Bu möhkəm sabit səthlər (və ya plitələr) quraşdırılmışdır ki, montajın əyilməsi onların arasındakı boşluğu dəyişsin (əslində dəyişən bir kondansatör meydana gətirən). Yaranan dəyişiklik, mütənasib yüksək səviyyəli bir siqnal ilə gücləndirən və çıxışı olan həssas xətti müqayisə dövrü (və ya asic) tərəfindən aşkar edilmişdir.

2.cvd növü

Kimyəvi buxarlanma (və ya "CVD") istehsal metodu, paslanmayan polad diafraqma, molekulyar səviyyədə paslanmayan polad diafragm-a, beləliklə əla uzunmüddətli sürüşmə performansı ilə sensor istehsal edir. Ümumi toplu işləmə seminalı istehsalçı istehsalı metodları çox münasib qiymətə əla performanslı polisilicon gərginlikli körpüləri yaratmaq üçün istifadə olunur. CVD quruluşu əla xərc performansına malikdir və OEM tətbiqetmələrində ən populyar sensordur.

3. Film növü ləkələmək

Film çöküntüsü (və ya "film") maksimum birləşdirilmiş xətti, histeriz və təkrarlanma ilə bir sensor yarada bilər. Dəqiqlik tam miqyasın 0,08% -i qədər ola bilər, uzunmüddətli sürüşmə hər il tam miqyaslı 0,06% qədərdir. Əsas alətlərin qeyri-adi performansı - Sputtered İncə Film Sensorumuz, təzyiq hiss edən sənayesində bir xəzinədir.

4.MMS növü

Bu sensorlar təzyiq dəyişikliklərini aşkar etmək üçün mikro emal edilmiş silikon (MMS) diafraqma istifadə edirlər. Silikon diafraqması orta neft dolu 316ss tərəfindən mühitdən təcrid olunmuşdur və proses mayesi təzyiqi ilə seriyalarda reaksiya verirlər. MMS Sensor, yüksək gərginlikli müqavimət, yaxşı xətti, əla istilik şoku və kompakt sensor paketində əla istilik şoku və sabitliyə nail ola biləcək ümumi yarımkeçirici istehsal texnologiyası qəbul edir.