Tez-tez istifadə olunan yarımkeçirici təzyiq sensoru substrat kimi N-tipli silikon vafli istifadə edir. Birincisi, silikon vafli müəyyən bir həndəsə ilə elastik bir gərginlik daşıyan hissəyə çevrilir. Silikon vaflinin gərginlik daşıyan hissəsində müxtəlif kristal istiqamətləri üzrə dörd P tipli diffuziya rezistoru hazırlanır və sonra bu dörd rezistorla dörd qollu Wheatstone körpüsü yaradılır. Xarici qüvvənin təsiri altında müqavimət qiymətlərinin dəyişməsi elektrik siqnallarına çevrilir. Təzyiq effekti olan bu buğda daşı körpüsü təzyiq sensorunun ürəyidir, adətən piezorezistiv körpü adlanır (Şəkil 1-də göstərildiyi kimi). Pyezorezistiv körpünün xüsusiyyətləri aşağıdakılardır: ① körpünün dörd qolunun müqavimət qiymətləri bərabərdir (hamısı r0); ② Körpünün bitişik qollarının piezorezistiv təsiri dəyər baxımından bərabərdir və işarə baxımından əksdir; ③ Körpünün dörd qolunun müqavimət temperatur əmsalı eynidir və onlar həmişə eyni temperaturda olurlar. şək. 1, R0 otaq temperaturunda stress olmadan müqavimət dəyəridir; RT temperaturun dəyişməsi zamanı müqavimətin temperatur əmsalının (α) yaratdığı dəyişiklikdir; Υ Rδ - gərginliyin (ε) yaratdığı müqavimətin dəyişməsidir; Körpünün çıxış gərginliyi u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (sabit cərəyan mənbəyi körpüsü) təşkil edir.

Burada I0 sabit cərəyan mənbəyi cərəyanıdır və e sabit gərginlik mənbəyi gərginliyidir. Piezorezistiv körpünün çıxış gərginliyi gərginliyə (ε) birbaşa mütənasibdir və müqavimətin temperatur əmsalı səbəb olduğu RT ilə heç bir əlaqəsi yoxdur, bu da sensorun temperatur sürüşməsini xeyli azaldır. Ən çox istifadə edilən yarımkeçirici təzyiq sensoru maye təzyiqini aşkar etmək üçün sensordur. Onun əsas strukturu monokristal silisiumdan hazırlanmış kapsuldur (Şəkil 2-də göstərildiyi kimi). Diafraqma kuboka düzəldilir və kubokun dibi xarici qüvvəni daşıyan hissədir və fincanın dibində təzyiq körpüsü hazırlanır. Üzük postamenti eyni silikon monokristal materialdan hazırlanır və sonra diafraqma postamentə yapışdırılır. Bu cür təzyiq sensoru yüksək həssaslıq, kiçik həcm və möhkəmlik üstünlüklərinə malikdir və aviasiya, kosmik naviqasiya, avtomatlaşdırma alətləri və tibbi alətlərdə geniş istifadə edilmişdir.