Tez-tez istifadə olunan yarımkeçirici təzyiq sensoru substrat kimi n tip silikon vfet istifadə edir. Birincisi, silikon vaferi müəyyən bir həndəsə ilə elastik bir stresli bir hissəyə çevrilir. Silikon Waferin stress keçirən bir hissəsində, müxtəlif büllur istiqamətləri boyunca dörd p tipli diffuziya rezistorları, sonra bu dörd rezistorla dörd qollu bir buğda daşı körpüsü meydana gəlir. Xarici gücün hərəkəti altında müqavimət dəyərlərinin dəyişməsi elektrik siqnallarına çevrilir. Təzyiq effekti olan bu buğda daşı körpüsü, ümumiyyətlə piezoresistiv körpü adlanan təzyiq sensorunun ürəyidir (Şəkil 1-də göstərildiyi kimi). Piezoresistiv körpünün xüsusiyyətləri aşağıdakı kimidir: ① Körpünün dörd qolunun müqavimət dəyərləri bərabərdir (hamısı R0); The Körpünün bitişik qollarının piezoresistiv effekti dəyəri və əksinə bərabərdir; The Körpünün dörd qolunun müqavimət temperatur əmsalı eynidir və onlar həmişə eyni temperaturda olurlar. Şəkildə. 1, R0, otaq temperaturunda stress olmadan müqavimət dəyəridir; RT temperatur dəyişdikdə müqavimət əmsalının (α) səbəb olduğu dəyişiklikdir; Υ rδ süzgəcin səbəb olduğu müqavimətin dəyişməsi (ε); Körpünün çıxış gərginliyi u = i0 δ rδ = i0rgδ (daimi cari mənbə körpüsü).

İ0 daimi cari mənbəli cari və e sabit gərginlik mənbəyi gərginliyidir. Piezoresistiv körpünün çıxış gərginliyi birbaşa süzgəcə (ε) ilə mütənasibdir və müqavimətin temperatur əmsalının səbəb olduğu RT ilə heç bir əlaqəsi yoxdur, bu da sensorun temperaturun sürüşməsini çox azaldır. Ən çox istifadə olunan yarımkeçirici təzyiq sensoru maye təzyiqinin aşkarlanması üçün bir sensordur. Onun əsas quruluşu, monokristalin silikondan hazırlanmış bir kapsuldur (Şəkil 2-də göstərildiyi kimi). Diafraqma bir fincan halına gətirilir və kubokun dibi xarici qüvvəni daşıyan hissədir və təzyiq körpüsü kubokun altındakı təzyiq körpüsüdür. Üzük piyası eyni silikon tək kristal materialdan hazırlanmışdır və sonra diafraqma piyadaya bağlanır. Bu cür təzyiq sensoru yüksək həssaslıq, kiçik həcm və möhkəmliyin üstünlüklərinə malikdir və aviasiya, kosmik naviqasiya, avtomatlaşdırma alətləri və tibbi alətlərdə geniş istifadə edilmişdir.