Piezoresistiv sensorun quruluşu

Bu sensorda, rezistor şeridi bir silikon piezoresistiv çip etmək üçün bir inteqrasiya prosesi ilə Monokristlik Silikon Diafon Diafon Diafraqmasında birləşdirilmişdir və bu çipin periferiyası qabığa qoyulur və elektrod rəhbərlikləri aparılır. Qatı dövlət təzyiq sensoru kimi də tanınan piezoresisti təzyiq sensoru, elastik həssas elementlər vasitəsilə xarici qüvvəni dolayı yolla hiss etməli olduğu yapışan gərginlik ölçüsündən fərqlidir, lakin silikon diafraqması vasitəsilə ölçülmüş təzyiq hissəsini hiss edir.

Silikon diafraqmasının bir tərəfi ölçülmüş təzyiqlə ünsiyyət quran yüksək təzyiqli bir boşluqdur, digər tərəfi atmosferlə ünsiyyət quran aşağı təzyiqli bir boşluqdur. Ümumiyyətlə, silikon diafraqması sabit periferiya ilə bir dairə olaraq hazırlanmışdır və qalınlığına diametrin təxminən 20 ~ 60-dır və daxili silikon diafraqmasında, digər ikisi isə diyaframmın mərkəzində simmetrik olan gərginlik zonasındadır.

Bundan əlavə, kvadrat silikon diafraqma və silikon sütun sensoru da var. Silikon silindrik sensoru, silikon silindrinin bir kristal təyyarəsinin müəyyən bir istiqamətində diffuziya və iki gərgin stressdə davamlı zolaqlar və iki komprestiv stres davamlı zolaqlar tam bir körpü meydana gətirir.

Piezoresistic sensor, yarımkeçirici materialın pezoresistiv təsirinə görə yarımkeçirici materialın substratına diffuziya müqaviməti ilə hazırlanmış bir cihazdır. Onun substratını ölçmə sensoru kimi birbaşa istifadə edilə bilər və diffuziya müqaviməti körpü şəklində substratda bağlanır.

Substrat xarici qüvvə tərəfindən deformasiya edildikdə, müqavimət dəyərləri dəyişəcək və körpü müvafiq balanssız bir nəticə çıxaracaqdır. Piezoresistiv sensorlar kimi istifadə olunan substratlar (və ya diafraqmalar) əsasən silikon wafter və germanium waftersdir. Silikon vafonlarından həssas materiallar kimi hazırlanmış silikon piezoresistiv sensorlar daha çox diqqət çəkdi, xüsusən də təzyiq və sürəti ölçmək üçün möhkəm dövlət piezoresistiv sensorlar ən çox istifadə olunur.