Piezorezistiv Sensorun strukturu

Bu sensorda rezistor zolağı monokristal silikon diafraqma inteqrasiya prosesi ilə silikon piezorezistiv çip etmək üçün birləşdirilir və bu çipin periferiyası qabıqda sabit şəkildə qablaşdırılır və elektrod başlıqları çıxarılır. Bərk-dövlət təzyiq sensoru kimi tanınan piezorezistiv təzyiq sensoru elastik həssas elementlər vasitəsilə dolayı yolla xarici qüvvəni hiss etməli olan, lakin ölçülmüş təzyiqi birbaşa silikon diafraqma vasitəsilə hiss edən yapışan gərginlikölçəndən fərqlidir.

Silikon diafraqmanın bir tərəfi ölçülmüş təzyiqlə əlaqə quran yüksək təzyiqli boşluq, digər tərəfi isə atmosferlə əlaqə saxlayan aşağı təzyiqli boşluqdur. Ümumiyyətlə, silikon diafraqma sabit periferiyaya malik bir dairə kimi nəzərdə tutulmuşdur və diametrinin qalınlığa nisbəti təxminən 20 ~ 60-dır. Dörd P çirkli müqavimət zolağı dairəvi silikon diafraqma üzərində lokal olaraq yayılır və ikisi tam körpüyə birləşdirilir. sıxılma gərginliyi zonasında, digər ikisi isə diafraqmanın mərkəzinə nisbətən simmetrik olan dartılma gərginliyi zonasındadır.

Bundan əlavə, kvadrat silikon diafraqma və silikon sütun sensoru da var. Silisium silindrik sensor, həmçinin silisium silindrinin kristal müstəvisinin müəyyən istiqamətində diffuziya yolu ilə rezistiv zolaqlardan hazırlanır və iki dartılma gərginliyinə davamlı zolaq və iki sıxıcı gərginliyə davamlı zolaq tam körpü təşkil edir.

Piezorezistiv sensor yarımkeçirici materialın piezorezistiv təsirinə uyğun olaraq yarımkeçirici materialın substratı üzərində diffuziya müqaviməti ilə hazırlanmış bir cihazdır. Onun substratı birbaşa ölçmə sensoru kimi istifadə edilə bilər və diffuziya müqaviməti substratda körpü şəklində birləşdirilir.

Substrat xarici qüvvə ilə deformasiya edildikdə, müqavimət dəyərləri dəyişəcək və körpü müvafiq balanssız çıxış verəcəkdir. Pyezorezistiv sensorlar kimi istifadə olunan substratlar (və ya diafraqmalar) əsasən silikon vaflilər və germanium vafliləridir. Həssas materiallar kimi silikon vaflilərdən hazırlanmış silikon pyezorezistiv sensorlar getdikcə daha çox diqqəti cəlb edir, xüsusən təzyiq və sürəti ölçmək üçün bərk vəziyyətdə olan piezorezistiv sensorlar ən çox istifadə olunur.