Yarımkeçirici təzyiq sensorlarını iki kateqoriyaya bölmək olar, biri gərginlik altında yarımkeçirici PN qovşağının (və ya şottki qovşağının) I-υ xüsusiyyətlərinin dəyişməsi prinsipinə əsaslanır. Bu təzyiqə həssas elementin performansı çox qeyri-sabitdir və çox inkişaf etdirilməmişdir. Digəri, yarımkeçirici təzyiq sensorunun əsas çeşidi olan yarımkeçirici piezorezistiv effektə əsaslanan sensordur. İlk dövrlərdə müxtəlif gərginlik və deformasiya ölçən alətlər hazırlamaq üçün yarımkeçirici gərginlikölçənlər əsasən elastik elementlərə bərkidilirdi. 1960-cı illərdə yarımkeçirici inteqral sxem texnologiyasının inkişafı ilə piezorezistiv element kimi diffuziya rezistoru olan yarımkeçirici təzyiq sensoru meydana çıxdı. Bu cür təzyiq sensoru sadə və etibarlı quruluşa malikdir, nisbi hərəkət edən hissələri yoxdur və sensorun təzyiqə həssas elementi və elastik elementi birləşdirilmişdir ki, bu da mexaniki geriləmə və sürüşmənin qarşısını alır və sensorun işini yaxşılaşdırır.

Yarımkeçiricinin piezorezistiv effekti Yarımkeçiricinin xarici qüvvə ilə əlaqəli bir xüsusiyyəti var, yəni müqavimət (ρ simvolu ilə təmsil olunur) onun çəkdiyi gərginliklə dəyişir, buna piezorezistiv effekt deyilir. Vahid gərginliyin təsiri altında müqavimətin nisbi dəyişməsi π simvolu ilə ifadə olunan pyezorezistiv əmsalı adlanır. Riyazi olaraq ρ/ρ = π σ kimi ifadə edilir.

Burada σ gərginliyi təmsil edir. Stress altında yarımkeçiricilərin müqavimətinin yaratdığı müqavimət qiymətinin dəyişməsi (R/R) əsasən müqavimətin dəyişməsi ilə müəyyən edilir, ona görə də piezorezistiv effektin ifadəsini R/R=πσ kimi də yazmaq olar.

Xarici qüvvənin təsiri altında yarımkeçirici kristallarda müəyyən gərginlik (σ) və deformasiya (ε) əmələ gəlir və onlar arasındakı əlaqə materialın Yanq modulu (Y) ilə müəyyən edilir, yəni Y=σ/ε.

Piezorezistiv effekt yarımkeçiricidəki gərginliklə ifadə edilirsə, R/R=Gε olur.

G, vahid gərginlik altında müqavimət dəyərinin nisbi dəyişməsini təmsil edən təzyiq sensorunun həssaslıq əmsalı adlanır.

Piezorezistiv əmsalı və ya həssaslıq əmsalı yarımkeçirici piezorezistiv effektin əsas fiziki parametridir. Onlar arasındakı əlaqə, gərginlik və gərginlik arasındakı əlaqə kimi, materialın Young modulu ilə müəyyən edilir, yəni g = π y.

Yarımkeçirici kristalların elastiklikdə anizotropiyasına görə Young modulu və pyezorezistiv əmsalı kristal oriyentasiyası ilə dəyişir. Yarımkeçiricinin piezorezistiv təsirinin böyüklüyü də yarımkeçiricinin müqaviməti ilə sıx bağlıdır. Müqavimət nə qədər aşağı olarsa, həssaslıq əmsalı bir o qədər kiçik olar. Diffuziya müqavimətinin piezorezistiv təsiri diffuziya müqavimətinin kristal oriyentasiyası və çirklilik konsentrasiyası ilə müəyyən edilir. Çirk konsentrasiyası əsasən diffuziya qatının səthi çirklilik konsentrasiyasına aiddir.