Passat yanacağı ümumi dəmir yolu təzyiq sensoru 06E906051K üçün tətbiq olunur

1. Təzyiq sensorunun formalaşdırılması üsulu, aşağıdakılardan ibarətdir:

Yarımkeçirici substratda birinci təbəqələrarası dielektrik təbəqənin, birinci təbəqələrarası dielektrik təbəqənin və ikinci təbəqələrarası dielektrik təbəqənin meydana gəldiyi yarımkeçirici substratın təmin edilməsi.

Birinci interlayer dielektrik təbəqəsində aşağı elektrod lövhəsi, aşağı elektrod plitəsi ilə eyni təbəqədə yerləşən və bir-birindən aralı olan birinci qarşılıqlı elektrod.

qatları birləşdirən;

Aşağı qütb plitəsinin üstündə qurbanlıq təbəqənin formalaşdırılması;

Birinci interlayer dielektrik qatında, birinci qarşılıqlı əlaqə qatında və qurbanlıq təbəqədə yuxarı elektrod plitəsinin formalaşdırılması;

Qurban qatını əmələ gətirdikdən sonra və yuxarı boşqab əmələ gətirməzdən əvvəl, birinci qarşılıqlı əlaqə qatında

Bir əlaqə yivinin formalaşdırılması və birinci qarşılıqlı əlaqə təbəqəsi ilə elektriklə əlaqə yaratmaq üçün yuxarı lövhə ilə birləşmə yivinin doldurulması; Və ya,

Üst elektrod boşqabını formalaşdırdıqdan sonra yuxarı elektrod lövhəsində və birinci qarşılıqlı əlaqə qatında birləşdirici yivlər əmələ gəlir.

Üst elektrod plitəsini və əlaqə yivində birinci qarşılıqlı əlaqə qatını birləşdirən keçirici təbəqənin formalaşdırılması;

Üst boşqab və ilk qarşılıqlı əlaqə təbəqəsi elektriklə birləşdirildikdən sonra, bir boşluq yaratmaq üçün qurbanlıq təbəqə çıxarılır.

2. 1-ci bəndə uyğun olaraq təzyiq sensorunun yaradılması üsulu, burada birinci təbəqədə

Laylararası dielektrik təbəqədə qurban qatının formalaşdırılması üsulu aşağıdakı addımlardan ibarətdir:

Birinci təbəqələrarası dielektrik təbəqəyə qurbanlıq material qatının qoyulması;

Qurbanlıq təbəqə yaratmaq üçün qurbanlıq maddi təbəqənin naxışlanması.

3. 2-ci bəndə uyğun olaraq təzyiq sensorunun formalaşdırılması üsulu, burada fotolitoqrafiya və oyma üsulundan istifadə olunur.

Qurbanlıq material təbəqəsi aşındırma prosesi ilə naxışlanır.

4. 3-cü bəndə uyğun olaraq təzyiq sensorunun formalaşdırılması üsulu, burada qurbanlıq təbəqə

Material amorf karbon və ya germaniumdur.

5. 4-cü bəndə uyğun olaraq təzyiq sensorunun formalaşdırılması üsulu, burada qurbanlıq təbəqə

Material amorf karbondur;

Qurbanlıq material təbəqəsinin aşındırılması prosesində istifadə olunan aşındırıcı qazlara O2, CO, N2 və Ar;

Qurbanlıq material təbəqəsinin aşındırılması prosesində parametrlər bunlardır: O2-nin axın diapazonu 18 SCCM ~ 22 SCCM, CO-nun axın sürəti isə 10%.

Axın sürəti 90 SCCM ilə 110 SCCM arasında dəyişir, N2 axını sürəti 90 SCCM ilə 110 SCCM arasında dəyişir və Ar.

Diapazon 90 SCCM ~ 110 SCCM, təzyiq diapazonu 90 mtor ~ 110 mtor, qərəzli güc isə

540w～660w.