Passat yanacağına aid ümumi dəmiryol təzyiqi sensoru 06E906051K

1. Təzyiq sensoru yaratmaq üçün bir üsul:

İlkaşaçılar dielektrik təbəqəsi, ilk interlayer dielektrik təbəqəsi və yarımkeçirici substratda ikinci bir-birinin ikinci həmsərhəd eləjeler təbəqəsi meydana gətirdiyi yarımkeçirici substratın təmin edilməsi.

İlklərarer dielektrik təbəqəsində aşağı elektrod plitəsi, aşağı elektrod plitəsi ilə eyni təbəqədə olan ilk qarşılıqlı elektrod, bir-birinə parçalanmış və bir-birindən ayrıldı.

Birləşdirən təbəqələr;

Alt qütb boşqabının üstündəki qurbanlıq bir təbəqə yaratmaq;

İlk həmkarları dielektrik təbəqəsində, ilk qarşılıqlı əlaqə təbəqəsi və qurbanlıq təbəqə üzərində yuxarı bir elektrod plitəsi yaratmaq;

Qurbanlıq təbəqəni formalaşdırdıqdan və yuxarı boşqabın formalaşmadan əvvəl, ilk əlaqələrin birləşməsi qatında

Bir əlaqə yivini formalaşdırmaq və birinci əlaqə təbəqəsi ilə elektrikli şəkildə qoşulmaq üçün yuxarı boşqabla bağlantı doldurmaq; Ya da

Üst elektrod plitəsini meydana gətirdikdən sonra, birləşdirən yivlər yuxarı elektrod plakasında və ilk əlaqələndirici təbəqədə formalaşır

Üst elektrod plitəsini və bağlantısı yivindəki ilk əlaqə təbəqəsini birləşdirən keçirici bir təbəqə yaratmaq;

Yuxarı boşqabı və ilk əlaqələndirici təbəqəni elektriklə bağlandıqdan sonra qurbanlıq təbəqəni boşluq meydana gətirmək üçün çıxarın.

2. Birinci qatda olduğu iddia edilən 1 iddia görə təzyiq sensoru yaratmaq üsulu

İnterlayer Dielektrik qatındakı qurbanlıq təbəqəsinin formalaşması üsulu aşağıdakı addımlardan ibarətdir:

İlk həmsöhbət dielektrik təbəqəsində qurbanlıq material qatını qoyur;

Qurbanlıq bir təbəqə yaratmaq üçün qurbanlıq material qatını patting.

3. Photolitoqrafiya və oyma istifadə edildiyi iddia görə, təzyiq sensorunun formalaşması üsulu, fotoliitoqrafiya və oyma istifadə olunur.

Qurbanlıq material təbəqəsi osching prosesi ilə naxışlanır.

4. Qurbanlıq təbəqənin olduğu iddia edilən 3 iddiaya görə təzyiq sensoru yaratmaq üsulu

Material amorf karbon və ya germaniumdur.

5. Qurbanlıq təbəqənin olduğu iddia edilən 4 iddiaya görə təzyiq sensoru yaratmaq üsulu

Material amorf karbondur;

Qurbanlıq material qatının aşınması prosesində istifadə olunan qazlar o2, co, n2 və ar;

Qurbanlıq material qatının titrəməsi prosesində parametrlər: O2 axını çeşidi 18 SCCM ~ 22 SCCM-dir və co axın sürəti 10% -dir.

Axın dərəcəsi 90 SCCM-dən 110 SCCM-ə qədər dəyişir, N2-nin axın sürəti 90 SCCM-dən 110-a qədər SGC və AR axını dərəcəsi.

Aralığı 90 SCCM ~ 110 SCCM, təzyiq aralığı 90 mtor ~ 110 mtor və qərəz gücüdir

540w ~ 660w.