Carter ekskavatoru üçün mühərrik təzyiq sensoru 2CP3-68 1946725

Aşağıdakı addımlardan ibarət olan təzyiq sensorunun hazırlanması üsulu:

S1, arxa səthi və ön səthi olan vafli təmin edir; Gofretin ön səthində piezorezistiv zolaq və ağır qatqılı təmas sahəsinin formalaşdırılması; Gofretin arxa səthini aşındırmaqla təzyiqli dərin boşluq yaratmaq;

S2, vaflinin arxa tərəfində bir dəstək vərəqinin yapışdırılması;

S3, vaflinin ön tərəfində qurğuşun dəlikləri və metal məftillər istehsal edir və Wheatstone körpüsünü yaratmaq üçün piezorezistiv zolaqları birləşdirir;

S4, vaflinin ön səthində bir passivasiya qatının qoyulması və formalaşması və metal yastıq sahəsi yaratmaq üçün passivasiya təbəqəsinin bir hissəsinin açılması. 2. İddia 1-ə uyğun təzyiq sensorunun istehsal üsulu, burada S1 xüsusi olaraq aşağıdakı mərhələləri əhatə edir: S11: vaflinin arxa səthi və ön səthi ilə təmin edilməsi və vafli üzərində təzyiqə həssas təbəqənin qalınlığının müəyyən edilməsi; S12: vaflinin ön səthində ion implantasiyası istifadə olunur, piezorezistiv zolaqlar yüksək temperaturda diffuziya prosesi ilə hazırlanır və təmas bölgələri güclü aşqarlanır; S13: vaflinin ön səthində qoruyucu təbəqənin qoyulması və formalaşması; S14: təzyiqə həssas bir film yaratmaq üçün vaflinin arxa tərəfində təzyiq dərin boşluğunun aşındırılması və formalaşdırılması. 3. İddia 1-ə uyğun təzyiq sensorunun istehsal üsulu, burada vafli SOI-dir.

1962-ci ildə Tufte et al. ilk dəfə diffuz silikon pyezorezistiv zolaqlar və silikon plyonka strukturu ilə piezorezistiv təzyiq sensoru istehsal etdi və pyezorezistiv təzyiq sensoru üzərində tədqiqata başladı. 1960-cı illərin sonu və 1970-ci illərin əvvəllərində üç texnologiyanın, yəni silikon anizotropik aşındırma texnologiyasının, ion implantasiyası texnologiyasının və anodik birləşmə texnologiyasının meydana çıxması təzyiq sensorunun işini yaxşılaşdırmaqda mühüm rol oynayan təzyiq sensoruna böyük dəyişikliklər gətirdi. . 1980-ci illərdən bəri, anizotropik aşındırma, litoqrafiya, diffuziya dopinq, ion implantasiyası, bağlama və örtük kimi mikro emal texnologiyasının daha da inkişafı ilə təzyiq sensorunun ölçüsü davamlı olaraq azaldılmış, həssaslıq təkmilləşdirilmiş və çıxış yüksək və yüksəkdir. performans əladır. Eyni zamanda, yeni mikro emal texnologiyasının inkişafı və tətbiqi təzyiq sensorunun film qalınlığını dəqiq idarə edir.